检测设备
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  • 三坐标 莱兹 HP 1台,0.7um精度

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  • 蔡司 白光三坐标1台

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  • LuphoScan 420 1台

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  • NMF DUI-600非球面测量机1台

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  • 非球面垂直检测装置6台

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  • 中图白光干涉仪1台

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  • 国产450、600mm干涉仪各1台

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  • Zygo球面激光干涉仪,4寸6台+6寸1台

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  • Zygo 650 白光干涉仪 1台

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  • Zygo 450mm MST干涉仪 1台 300mm MST 1台

    Zygo 450mm MST干涉仪 1台 300mm MST 1台

  • 德国布鲁克原子力显微镜1台

    德国布鲁克原子力显微镜1台

  • 德国全欧高精度测角仪2台

    德国全欧高精度测角仪2台

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