三坐标 莱兹 HP 1台，0.7um精度
蔡司 白光三坐标1台
LuphoScan 420 1台
NMF DUI-600非球面测量机1台
非球面垂直检测装置6台
中图白光干涉仪1台
国产450、600mm干涉仪各1台
Zygo球面激光干涉仪,4寸6台+6寸1台
Zygo 650 白光干涉仪 1台
Zygo 450mm MST干涉仪 1台 300mm MST 1台
德国布鲁克原子力显微镜1台
德国全欧高精度测角仪2台
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