设备介绍:本检测站是以铝型材为基础搭建的检测数值检测设备,搭配ZYGO高精度干涉仪、CGH五维调整架、六自由电控转台能够实现,各种球面、非球面的竖直检测,满足客户原位使用测量要求。
设备特色:设备搭建自由度高,方便安装与拆卸,在一定高度范围内(H<3.2m),能够适应各种球面,非球面的检测需求
设备行程:干涉仪Z轴±100mm。
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