一.三坐标简介：
三坐标轮廓仪主要包括主机机械系统、测头系统、电器控制硬件系统和数据处理软件系统组成。通过高精度的三维机械导轨，对被测零件表面进行逐点测量采样，测得表面点的空间三维坐标(x,y,z)，与理论面形进行对比。
二.优势：
1、测量范围大
2、测量精度高
3、对测量面型没有要求
4、独特的铸铁/花岗岩结构使机器对温度变化不敏感
5、各轴均采用预载荷空气轴承，配有测量气隙传感器可以监控气隙大小
6、光栅尺和工件上的自动温度补偿
7、设置模式下提供整台机器的全面碰撞保护
8、高性能直流伺服电机，采用循环式精密滚珠丝杠传动
三.主要技术指标：
技术指标 | 参数指标 |
测量工件类型 | 平面、球面、非球面、柱面、自由曲面等反射镜或透镜等 |
测量元件外形 | 圆形、椭圆、矩形、圆角矩形、扇形、跑道形、多边形等 |
测量工件材料 | 石英、微晶、光学玻璃、单晶硅、SiC、大理石等 |
加工范围 | 800mm×1000mm×565mm |
测量精度 | 0.7um |
