国产450、650mm干涉仪简介:
激光光源为He-Ne激光,出射光波632.8nm,将6英寸干涉仪通过扩束系统变为450mm口径干涉仪,能够自主切换测量口径。搭配平面标准镜能够实现450mm口径范围下平面反射镜的测量及平面透射面形测量,测量精度优于1/20λ(λ=632.8nm)PV。
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