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国产450、600mm干涉仪各1台


国产450、650mm干涉仪简介: 

       激光光源为He-Ne激光,出射光波632.8nm,6英寸干涉仪通过扩束系统变为450mm口径干涉仪,能够自主切换测量口径。搭配平面标准镜能够实现450mm口径范围下平面反射镜的测量及平面透射面形测量,测量精度优于1/20λ(λ=632.8nm)PV。



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