MST干涉仪简介：
MST干涉仪采用波长移相方式，通过将4英寸扩束到12”; 18”; 24”; 32”，
能够实现大口径平面测量，
平行平板面形、楔角、折射率不均匀性等数据测量
4英寸平面镜头面形pv优于1/20λ（λ=632.8nm），大口径标准镜pv优于1/25λ（λ=632.8nm）
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