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检测能力

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全频段光学测量

具备完善的大口径平面、球面、非球面检测技术,完整覆盖光学检测各个频段。低频误差检测包括三坐标、 Luphoscan、干涉仪测量等。中高频误差方面,具有白光干涉仪、原子力显微镜等装备,完全覆盖全频段误差检测范围。

高精度非球面面形测量

具备完整得高精度非球面检测能力, 包括非球面的自准直检测(抛物面、椭球面、非球透镜等)和计算全息 CGH 补偿检测,具备精确得畸变补偿能力,指导超高精度非球面加工。

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