一.离子束抛光机简介：
离子束抛光是利用低能离子束轰击表面，通过弹性碰撞与材料表层原子进行动量和能量交换。当表层靶原子获得足够的能量后，便可以脱离工件表面，实现原子级的材料去除。
二.优势：
1、原子量级的精度
2、无边缘效应
3、去除函数稳定
4、非接触式抛光
5、去除函数形状好
6、对加工距离不敏感
三.主要技术指标：
技术指标 | 参数指标 |
加工工件类型 | 平面、球面、非球面、柱面、自由曲面等反射镜或透镜等 |
加工元件外形 | 圆形、椭圆、矩形、圆角矩形、扇形、跑道形、多边形等 |
加工材料 | 石英、微晶、光学玻璃、单晶硅等 |
加工范围 | 700mm×700mm×200mm |
加工精度 | 常规非球面RMS<1/200λ，λ=632.8nm |
粗糙度 | Ra≤0.3nm |
光洁度 | 优于Ⅰ级 |
