一.磁流变抛光机简介:
机械臂抛光磁流变抛光是利用磁流变液在高强度梯磁场下的流变剪切特性对光学零件进行材料去除的。加工时,磁流变液经喷嘴喷射到抛光轮表面,并由旋转的抛光轮带入磁铁产生的抛光区域,在高强度梯度磁场作用下,磁流变液在瞬间内相变为粘塑性Bingham介质,从而形成具有一定硬度和粘度的“柔性抛光模”。当磁流变液压入工件一定深度时,磁流变液在工件表面形成独特的去除函数(形状呈倒D形),从而实现工件表面材料的有效去除。
二.优势:
1、加工确定性强
2、加工效率高
3、边缘效应小
4、亚表面损伤小
三.主要技术指标:
技术指标 | 参数指标 |
加工工件类型 | 平面、球面、非球面、柱面、自由曲面等反射镜或透镜等 |
加工元件外形 | 圆形、椭圆、矩形、圆角矩形、扇形、跑道形、多边形等 |
加工材料 | 石英、微晶、光学玻璃、单晶硅、SiC、ULE等 |
加工范围 | 600mm×600mm |
加工精度 | 常规非球面RMS<1/125λ,λ=632.8nm |
粗糙度 | Ra≤0.5nm |
光洁度 | 优于Ⅰ级 |
