作为干涉仪系统的“基准标尺”，标准平面镜的面型精度、表面粗糙度及几何公差控制直接影响测量结果的可靠性。此次通过检测的4寸平面参考镜与6寸平面参考镜，完全采用环抛技术进行加工，并在核心指标上展现出卓越性能：

4寸干涉仪平面参考镜实物图	6寸干涉仪平面参考镜实物图

标准参考镜面形精度：

通过环抛技术直接加工的6寸平面参考镜产品PV值均稳定在0.038λ-0.039λ，PVr达到λ/30，满足λ/20的高精度要求；RMS值（均方根误差）控制在3.0nm-3.3nm。

6寸干涉仪平面参考镜-001#面形精度	6寸干涉仪平面参考镜-002#面形精度

得益于450mm Zygo MST干涉仪：

团队可以实现超高精密的面形检测。该干涉仪标准参考镜D450mm全口径的面形精度PV优于1/30λ，局部D150mm口径PV优于λ/117 (即PV= 5.4nm，Zygo原厂标定数据)，且测试环境24小时温度稳定性优于0.1℃，震动等级优于VC-G水平，可以为4寸和6寸干涉仪提供近乎绝对检测的精度。

450mmZygo MST干涉仪	150mm内Zygo干涉仪面形精度PV=5.4nm

环抛+离子束+ Zygo MST干涉仪实现超高精度：

基于环抛技术的加工精度，公司在其它项目中，继续采用离子束加工的方式，结合高精度Zygo MST干涉仪检测，目前已成功实现了PV=11.3nm，PVr=10.3nm，RMS=1.6nm的6寸平面干涉仪标准镜的加工和检测，并已成功交付2块，获得高端用户的认可。

离子束加工设备	6寸平面参考镜加工结果