近日，济南欧派特光电科技有限公司在高精度干涉仪标准平面镜研发与生产领域传来捷报，多款4寸及6寸平面镜干涉仪标准参考镜通过检测，相关指标已满足高端干涉仪对标准参考镜的严苛要求，达到行业先进水平，标志着我司在干涉仪精密光学元件制造领域实现关键突破。
以数据说话：核心参数彰显硬实力
作为干涉仪系统的“基准标尺”，标准平面镜的面型精度、表面粗糙度及几何公差控制直接影响测量结果的可靠性。此次通过检测的4寸平面参考镜与6寸平面参考镜，完全采用环抛技术进行加工，并在核心指标上展现出卓越性能：
|  |
4寸干涉仪平面参考镜实物图 | 6寸干涉仪平面参考镜实物图 |
标准参考镜面形精度：通过环抛技术直接加工的6寸平面参考镜产品PV值均稳定在0.038λ-0.039λ，PVr达到λ/30，满足λ/20的高精度要求；RMS值（均方根误差）控制在3.0nm-3.3nm。
| 
|
6寸干涉仪平面参考镜-001#面形精度 | 6寸干涉仪平面参考镜-002#面形精度 |
永不止步：不断挑战更高的精度
得益于450mm Zygo MST干涉仪：团队可以实现超高精密的面形检测。该干涉仪标准参考镜D450mm全口径的面形精度PV优于1/30λ，局部D150mm口径PV优于λ/117 (即PV= 5.4nm，Zygo原厂标定数据)，且测试环境24小时温度稳定性优于0.1℃，震动等级优于VC-G水平，可以为4寸和6寸干涉仪提供近乎绝对检测的精度。
| 
|
| 450mm Zygo MST 干涉仪 | 150mm内Zygo干涉仪面形精度PV=5.4nm |
环抛+离子束+ Zygo MST干涉仪实现超高精度
基于环抛技术的加工精度，公司在其它项目中，继续采用离子束加工的方式，结合高精度Zygo MST干涉仪检测，目前已成功实现了PV=11.3nm，PVr=10.3nm，RMS=1.6nm的6寸平面干涉仪标准镜的加工和检测，并已成功交付2块，获得高端用户的认可。
| 
|
| 离子束加工设备 | 6寸平面参考镜加工结果，PVr=0.022λ |
应用前景：赋能高端制造与科研创新
超高精度干涉仪标准平面镜作为计量检测、半导体制造、激光加工等领域的 “基础工具”，其性能提升将直接推动下游行业的精度升级。此次突破是对我司“精密制造”理念的践行，未来还将不断努力，为我国高端光学仪器国产化贡献“欧派特力量”。